1994年　埼玉大学の土肥俊郎教授（現九州大学名誉教授）により、精密工学会に設けられた産学共同研究協議会の研究協力分科会として発足。
 
1998年　「超精密機械加工技術を駆使することによって、次世代のLSIデバイス・ウェーハ表面の層間絶縁膜や配線金属膜のグローバル・プラナリゼーション加工技術と多分野への応用技術を中心として、調査研究、情報交流ならびに討論・協力研究開発等を行い、その工学的ならびに工業的発展に寄与すること」を目的とし、精密工学会の専門委員会（委員長：土肥俊郎）となる。

2001年　専門委員会名を現在の名称に変更

2004年　Pac-Rim CMP (現International Conference on Planarization/CMP Technology; ICPT) 創設
 
2009年　16周年（専門委員会発足10周年）記念行事開催

2011年　委員長交代（新委員長：荏原製作所 檜山浩國）

2015年　20周年記念シンポジウム開催

2020年　25周年記念行事開催

2023年　委員長交代（新委員長：九州大学 黒河周平）